আপনি যদি সেমিকন্ডাক্টর, মেডিকেল ডিভাইস, অপটিক্স বা পুনর্নবীকরণযোগ্য শক্তির মতো শিল্পগুলিতে জড়িত থাকেন তবে আপনি সম্ভবত এই শব্দটি শুনেছেনপ্লাজমা জমার সরঞ্জাম।তবে এটি আপনার উত্পাদন লাইন, মান নিয়ন্ত্রণ এবং নীচের লাইনের জন্য সত্যই কী বোঝায়? খাতটিতে দুই দশকেরও বেশি সময় ধরে একজন পাকা পেশাদার হিসাবে, আমি এই প্রযুক্তিটি একটি কুলুঙ্গি সরঞ্জাম থেকে উত্পাদন ভিত্তি পর্যন্ত বিকশিত হতে দেখেছি। এই গাইডটি আপনার যা জানা দরকার তা সবই ভেঙে ফেলবে, যে প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশনগুলিতে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়গুলিতে মনোনিবেশ করে, সমস্ত আপনি যে স্পষ্টতা এবং গভীরতার প্রত্যাশা করছেন তা উপস্থাপন করা হয়েছে।
এর মূল অংশে, প্লাজমা ডিপোজিশন সরঞ্জামগুলি একটি প্লাজমা রাষ্ট্র - আয়ন, ইলেক্ট্রন এবং নিরপেক্ষ কণাযুক্ত একটি উচ্চ আয়নযুক্ত গ্যাসকে একটি স্তরটিতে পাতলা, অভিন্ন ছায়াছবি জমা দেওয়ার জন্য ব্যবহার করে। প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন (পিইসিভিডি) নামে পরিচিত এই প্রক্রিয়াটি উচ্চতর আনুগত্য, ব্যতিক্রমী সামঞ্জস্যতা সরবরাহ করে এবং traditional তিহ্যবাহী পদ্ধতির তুলনায় নিম্ন তাপমাত্রায় কাজ করে। এটি তাপ-সংবেদনশীল উপকরণ লেপ জন্য এটি অপরিহার্য করে তোলে।
সমস্ত জমা সিস্টেম সমানভাবে তৈরি করা হয় না। সুজু এয়ারিকো যন্ত্রপাতি সরঞ্জাম কোং, লিমিটেডে আমাদের মেশিনগুলি নির্ভুলতা, নির্ভরযোগ্যতা এবং স্কেলিবিলিটির জন্য ইঞ্জিনিয়ারড। আমরা বুঝতে পারি যে আপনার সাফল্য ধারাবাহিক, উচ্চমানের আউটপুট এবং বিনিয়োগের উপর দ্রুত রিটার্নের উপর নির্ভর করে। আমাদের সরঞ্জামগুলি ঠিক সেই সময় এবং সময় সরবরাহ করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
স্পেসিফিকেশনগুলি বোঝা একটি অবহিত সিদ্ধান্ত নেওয়ার মূল চাবিকাঠি। স্পষ্টতা এবং পেশাদার পর্যালোচনার জন্য উপস্থাপিত আমাদের স্ট্যান্ডার্ড পিইসিভিডি সিস্টেমগুলির জন্য সমালোচনামূলক পরামিতিগুলির বিশদ ব্রেকডাউন এখানে রয়েছে।
মূল সিস্টেমের স্পেসিফিকেশন:
জমার হার:50-500 এনএম/মিনিট (উপাদান এবং প্রক্রিয়া রেসিপি উপর ভিত্তি করে সামঞ্জস্যযোগ্য)
বেস চাপ:<1.0 x 10 <সুপার> -6 টর
প্রক্রিয়া চাপ পরিসীমা:100 মেটর - 5 টর
সাবস্ট্রেট আকারের সামঞ্জস্যতা:2 ইঞ্চি থেকে 8 ইঞ্চি বা কাস্টম-আকারের সাবস্ট্রেট পর্যন্ত ওয়েফারগুলির জন্য কনফিগারযোগ্য।
দ্রুত তুলনামূলক ওভারভিউয়ের জন্য, এখানে মূল ক্ষমতাগুলির সংক্ষিপ্তসার একটি টেবিল রয়েছে:
প্যারামিটার বিভাগ | স্পেসিফিকেশন বিশদ | আপনার প্রক্রিয়া উপকার |
---|---|---|
ভ্যাকুয়াম পারফরম্যান্স | বেস চাপ: <1.0 x 10 <সুপার> -6 টর | দূষক থেকে মুক্ত একটি প্রাথমিক প্রক্রিয়াজাতকরণ পরিবেশ নিশ্চিত করে। |
ডিপোজিশন কন্ট্রোল | হার: 50-500 এনএম/মিনিট | দ্রুত প্রোটোটাইপিং এবং হাই-থ্রুপুট উত্পাদন উভয়ের জন্য নমনীয়তা সরবরাহ করে। |
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ | উত্তপ্ত পর্যায়ে 500 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড (± 2 ডিগ্রি সেন্টিগ্রেড) পর্যন্ত | আপস ছাড়াই তাপমাত্রা-সংবেদনশীল উপকরণগুলি প্রক্রিয়াজাতকরণের অনুমতি দেয়। |
ফিল্মের মান | অভিন্নতা: <± 3% | প্রতিটি অংশ জুড়ে ধারাবাহিক স্তর বেধ এবং উপাদান বৈশিষ্ট্য গ্যারান্টি দেয়। |
অটোমেশন স্তর | রেসিপি স্টোরেজ সহ পিএলসি | অপারেটরের ত্রুটি হ্রাস করে, পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করে এবং প্রশিক্ষণকে সহজ করে তোলে। |
এই নিখুঁত প্রকৌশলটি নিশ্চিত করে যে আমরা সুজু এয়ারিকো যন্ত্রপাতি সরঞ্জাম কোং, লিমিটেড থেকে পাঠানো প্রতিটি ইউনিট সর্বোচ্চ আন্তর্জাতিক মান পূরণ করে, আপনাকে এমন একটি সরঞ্জাম সরবরাহ করে যা কেবল ক্রয় নয়, উদ্ভাবনের ক্ষেত্রে দীর্ঘমেয়াদী অংশীদারিত্ব।
1। প্লাজমা জমা দেওয়ার সরঞ্জামগুলির জন্য প্রাথমিক রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তাগুলি কী কী?
দীর্ঘায়ু এবং ধারাবাহিক পারফরম্যান্সের জন্য নিয়মিত রক্ষণাবেক্ষণ গুরুত্বপূর্ণ। মূল কাজগুলির মধ্যে রয়েছে পাতলা ফিল্ম বিল্ডআপ অপসারণ, ভ্যাকুয়াম অখণ্ডতা বজায় রাখতে ও-রিংগুলি পরীক্ষা করা এবং প্রতিস্থাপনের জন্য ডিপোজিশন চেম্বারের পর্যায়ক্রমিক পরিষ্কার করা, প্রতি 6-12 মাসে ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রণকারী এবং চাপ গেজগুলি ক্যালিব্রেটিং করা এবং আরএফ জেনারেটর এবং ম্যাচিং নেটওয়ার্ক পরিদর্শন করা। সুজহু এয়ারিকোতে আমাদের সিস্টেমগুলি সার্ভিসিবিলিটি মাথায় রেখে ডিজাইন করা হয়েছে, ডাউনটাইম হ্রাস করার জন্য সহজ-অ্যাক্সেস পোর্ট এবং বিশদ রক্ষণাবেক্ষণ ম্যানুয়ালগুলির বৈশিষ্ট্যযুক্ত।
2। পূর্ববর্তী গ্যাসের পছন্দ কীভাবে প্লাজমা জমা দেওয়ার প্রক্রিয়াতে চূড়ান্ত আবরণকে প্রভাবিত করে?
পূর্ববর্তী গ্যাসটি মৌলিক কারণ এটি জমা হওয়া ফিল্মের রাসায়নিক সংমিশ্রণকে সংজ্ঞায়িত করে। উদাহরণস্বরূপ, অ্যামোনিয়া (এনএইচ <সাব> 3 ) এর সাথে সিলেন (সিআইএইচ <সাব> 4 সাব>) ব্যবহার করে সিলিকন নাইট্রাইড (এসআইএন) ফিল্মের ফলস্বরূপ, যা প্যাসিভেশন এবং ইনসুলেশনের জন্য দুর্দান্ত। নাইট্রাস অক্সাইড সহ সিলেন ব্যবহার করা (এন <সাব> 2 ও) সিলিকন ডাই অক্সাইড (সিও <সাব> 2 ) উত্পাদন করে। মিথেন (সিএইচ <সাব> 4 সাব>) বা হেক্সামেথিল্ডিসিলোক্সেন (এইচএমডিএসও) এর মতো গ্যাস যুক্ত করা হীরার মতো কার্বন (ডিএলসি) বা সিলিকন-ভিত্তিক জৈব ছায়াছবি তৈরি করতে পারে। আমাদের প্রযুক্তিগত দল আপনাকে আপনার নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশনটির জন্য সঠিক রসায়ন নির্বাচন করতে সহায়তা করতে পারে।
3। আপনার প্লাজমা জমা দেওয়ার সরঞ্জামগুলি কি অ-মানক স্তরগুলি বা আকারগুলি পরিচালনা করতে পারে?
একেবারে। যদিও আমাদের স্ট্যান্ডার্ড কনফিগারেশনগুলি সাধারণ ওয়েফার আকারের জন্য অনুকূলিত হয়েছে, আমরা কাস্টম-ইঞ্জিনিয়ারড সমাধানগুলি সরবরাহ করতে সুজু এয়ারিকোতে বিশেষীকরণ করি। এর মধ্যে মেডিকেল ডিভাইস উপাদান, অপটিক্যাল লেন্স বা বিশেষায়িত সরঞ্জামিংয়ের মতো জটিল জ্যামিতির জন্য ফিক্সচার এবং ইলেক্ট্রোড সিস্টেমগুলি ডিজাইনিং অন্তর্ভুক্ত রয়েছে। আমরা আপনার সাবস্ট্রেটের প্রয়োজনীয়তাগুলি বুঝতে এবং সেই অনুযায়ী সরঞ্জামগুলিকে অভিযোজিত করতে সরাসরি আপনার সাথে কাজ করি, এমনকি 3 ডি পৃষ্ঠগুলিকে চ্যালেঞ্জিংয়ে এমনকি অভিন্ন আবরণ কভারেজ নিশ্চিত করে।
ডান প্লাজমা জমা দেওয়ার সরঞ্জামগুলিতে বিনিয়োগ করা একটি কৌশলগত সিদ্ধান্ত যা আপনার পণ্যের গুণমানকে উন্নত করতে পারে, নতুন ডিজাইন সক্ষম করতে পারে এবং উত্পাদন দক্ষতা উন্নত করতে পারে। এটি প্রযুক্তিগত শ্রেষ্ঠত্বের মাধ্যমে একটি প্রতিযোগিতামূলক প্রান্ত অর্জন সম্পর্কে। এখানে সরবরাহ করা বিশদ পরামিতি এবং প্রায়শই জিজ্ঞাসিত প্রশ্নাবলী হ'ল ইঞ্জিনিয়ারিং গভীরতা এবং অ্যাপ্লিকেশন দক্ষতার একটি প্রমাণ যা আমরা টেবিলে নিয়ে আসি।
একটি নির্ভুলতা-প্রলিপ্ত ভবিষ্যত কীভাবে আপনার পণ্যগুলির সন্ধান করতে পারে তা অন্বেষণ করতে প্রস্তুত? দল এসুজু এয়ারিকো যন্ত্রপাতি সরঞ্জাম কোং, লিমিটেডআপনার সাথে অংশীদার হতে প্রস্তুত। আমরা কেবল মেশিন বিক্রি করি না; আমরা প্রাথমিক পরামর্শ এবং কাস্টম কনফিগারেশন থেকে শুরু করে ইনস্টলেশন, প্রশিক্ষণ এবং চলমান সহায়তা পর্যন্ত বিস্তৃত সমাধান সরবরাহ করি।
যোগাযোগআমাদের আজ আপনার নির্দিষ্ট প্রক্রিয়া প্রয়োজনীয়তাগুলি নিয়ে আলোচনা করতে এবং একটি বিশদ উদ্ধৃতি অনুরোধ করতে।আসুন আমরা প্রদর্শন করি যে কীভাবে আমাদের দক্ষতা আপনার সুবিধা হতে পারে।